日前,德国媒体《焦点》周刊爆出,美国国会专家委员会建议政府让荷兰的阿斯麦尔(ASML)受到美国出口限制,再有,拜登刚上台就派出官员与荷兰交谈,继续限制ASML与中国的业务往来,很显然拜登政府或再次延续特朗普时期的限制中国芯片发展的政策。
众所周知,芯片领域的“引擎”就是光刻机,但基于美国压力,当前ASML对中国限制出口的是最先进的EUV光刻机,该产品目前一共有两款,NXE3400B和NXE3400C。其中3400C是2019年量产的最先进EUV光刻机,主要生产7nm和5nm节点的EUV光刻机。根据ASML财报,2020年光刻机一共销售了258台,其中EUV系统31台,占销售总量的12%,但销售额占全年的43%。
数据来源:企业财报
虽然2020 年,中国占阿斯麦总销售额的 17%。不过,这些销售额只涉及老一代设备。
中国光刻机进展
被认为是中国最先进光刻机领军研究机构——长春光机所目前仍未达到28nm精度的DUV光源,完全自给自足的生产水平只在90nm,与先进水平有着较大差距。目前国内14nm水平实现国内自产,但产能有限,而且部分零部件仍然采用美国。
不过目前我国从机构到企业已经都在参与光刻机领域的分项研究,例如浙江大学在浸液系统研究,哈工大光源,北京科益虹源的激光器等等。
根据美国专家说法,中国芯片产业自给自足需要10年,投入至少10000亿美元。事实上,可能不止,仅ASML最先进的光刻机EUV就先后有多个发达国家花了几十年才做出来的,即便中国弯道超车,也不会再10年之内完全实现,在这一点上,中国不能好高骛远。
就光学系统来说,ASML所用的光源供货商只有一家,就是德国通快集团,他不仅是全球最大的机床加工企业,还是全球最大的激光企业,在世界光系统的市场份额超过30%,而EUV光刻最大的挑战之一是如何产生波长极短的13.5nm的光。为此,仅这一项技术,荷兰ASML联合两家德国企业花了好多年才研制出来。
虽然对我国来说光刻机之路任重道远,2021甚至可以说是最黑暗的一年,但这也是黎明前的黑暗,今年国产光刻机就能正式下线,这就是起航之时。